플라즈마 인디케이터 (Plasma Indicator)

플라즈마 인디케이터 (Plasma Indicator)

* 플라즈마 성능, 균일도를 Indicator 의 색차(변색 정도)를 확인함으로써 간단한 방법으로 한눈에 확인할 수 있는 신개념 평가 방법입니다.

  - 진공 플라즈마 : 투입 수량, 부착 위치에 따라 챔버 내 플라즈마 분포 및 처리 균일도 확인

 

 - 대기압 플라즈마 : Label type을 이용하여 전체적인 색 변화 확인을 통해 성능, 균일도 확인

  - 공정 관리, 품질 관리, 생산 관리 기여(용이)

    : 여러 라인에서 구동되는 설비 (동일 조건 적용)들 간 성능 격차를 감소시켜 균일한 품질의 제품 생산이 가능하며, 설비 이상유무를 실시간으로 확인하여 즉각 대응할 수 있습니다.

  - UV 설비, 오존 처리기에도 활용 가능

아직도 플라즈마 처리 상태를 접촉각, Dyne Pen등으로 확인하십니까?

아직도 불필요한 시간과 비용을 낭비하십니까?

■  플라즈마 인디케이더 

플라즈마 중에 라디칼, 이온에 의해 변색되는 기능성 색재를 이용한 평가방법

■  플라즈마 인디케이더 평가방법 비교

■  제품 Line Up

■  제품 Line Up - 감도 No

감도 : 변색속도, 변색되기 쉬운정도

감도 No(각 용도별) : 번호가 작을수록 감도가 높음

■  제품 Line Up - 형태

형태 : 사용목적에 따른 분류

 - Card Type : 단순 work place 위에 올려놓는 Type

 - Label Type : 측정하고자 하는 부위에 붙이는  Type

 - Sheet Type : 대면적 평가용

 - Wafer Type : 챔버 내부에 그상태로 올려 놓는  Type

■  제품 Line Up - 선택방법

최적 제품 성택 : 사용목적에 맞추어 색재, 감도, 형태에 따라서 선택

■  제품 Line Up - 변색 Mechanism

유기색재

- 2종류의 색재가 배합

- 표면에서 플라즈마에 의해 한가지 색소가 분해되거나 색소가 없어지면서 변색

무기색재

 - 무기 산화물을 배합

- 플라즈마에 의해, 무기산화물의 산화수가 변화하거나, 화합물이 생성 되면서 변색

산화수증가 : 황색

산화수감소: 회색

화합물생성 : 화합물색

■  제품 Line Up 

O2 / Ar Cleaning용

대기압플라즈마용

내열성

2 sensitivity types are abailable

■  적용사례

플라즈마 처리 효과확인

플라즈마 균일성, 분포 확인

챔버 내부 주변의 플라즈마 효과확인

장비간 성능차 확인 - 동일장비, 동일 플라즈마 조건

시간이 많이 소요되는 기존 평가방법 대체

■  상관관계 Data

접촉각과 색차와의 상관관계

플라즈마 처리후의 세정 효과로, 접촉각과 색차와의 상관관계확인

접촉각과 색차와의 상관 관계는 고객사의 플라즈마 방전 사양에 따라 별도로 색차계를 이용하여 설정이 필요합니다.

플라즈마 처리시간에 대한 접촉각과 색차와의 상관관계

전자밀도와 색차와의 상관관계

신뢰성(=재현성)평가

■  종합

-. Plasma 강도를 색의 변화로 “간단, 확실, 저가격”으로 확인 -> 可視化

-. 저비용으로 간단하게 공정의 불균일, 분포를 평가 -> 생산성 및 수율향상

-. 접착할 수 있으며, 유연성을 가지고 있어 기판표면 뿐만 아니라, 

챔버내부벽면, 굴곡부위 어디에도 부착 가능

-. Base 재질로 청정재료 채택으로 진공공정에 적용 가능

 ( 요구 청정도에 따라 적용 불가일 경우도 있으니, 상담 필요 )

-. 변색(=색차)은 수치화 가능 (단, 색차계 필요) -> 관리의 수치화

-. 공정관리, 품질관리, 생산성향상에 도움